科學(xué)と技術(shù)の統(tǒng)合とこれまでの急速な発展を増加し、線幅を減らすため、シリコン基板上、作品の質(zhì)が高まるなか、シリコン表面の品質(zhì)要件の洗練されたウェーハは特に厳しいとなっているとより厳格になる。これは主に、現(xiàn)在の粒子や金屬不純物汚染の末尾に真剣にデバイスの歩留まりに影響を與えるの表面は、表面の最後の最後で洗練されたウェーハの需要よりも大きい0.2μm粒子數(shù)が20未満である必要があります/枚。 IC製造プロセスでは、ほぼすべてのプロセスは、洗浄、半導(dǎo)體デバイスで最も頻繁に実行重要で、デバイスの歩留まり、性能、および信頼性の洗浄効果に直接影響するため、國內(nèi)外で現(xiàn)在進(jìn)行中の洗浄工程で洗浄しています。
濕式化學(xué)洗浄
洗浄方法のほとんどは、ほぼ過去30年間でウェットクリーニング、ドライクリーニング、に、ウェットクリーニングチップされている主流の技術(shù)的アドバイスを分けることができますが、溶剤を使用し、酸やアルカリの多様で、界面活性剤です水、腐食、溶解、このソリューションは、ホット、コールドに化學(xué)反応を介して）、洗濯物を他のメソッドは、化學(xué)試薬の使用後のたびに、適用されて洗浄には、化學(xué)試薬の殘骸を削除する超純水は、チップの表面素材染色を削除する。はないが洗浄法のすべての洗浄の要件に適用することができますどのような種類ですが、過去三十年間、獨(dú)自のウェット典型的な洗浄シーケンスの清掃を形成しています。
?。?）一般的な化學(xué)試薬、洗濯液の性質(zhì)
化學(xué)試薬と液體の浄化能力を洗浄、ウエハー洗浄の目的に基づいています?jié)袷交瘜W(xué)洗浄効率の清掃に決定的な影響を與える9、濕式化學(xué)の最初のステップの清掃をし、適切な試薬を選択し、洗浄液尋ねた。一般的にシリコンウエハで、主に無機(jī)酸化學(xué)物質(zhì)と洗浄液の洗浄に使用、酸化剤、錯(cuò)化剤、過酸化水素、合成洗剤、家電、いくつかの主要な種類のエージェント洗浄液、有機(jī)溶剤、洗浄?；瘜W(xué)洗浄し、表1に化學(xué)的性質(zhì)に彼らの主な役割。
?。?）ソリューション液浸法
浸漬ソリューションシリコン溶液に濕式化學(xué)は、最も一般的に使用されるメソッドです清掃法の目的に到達(dá)する表面の汚染を削除するに浸漬によってクリアされます。これは、主に化學(xué)反応の解散の液浸プロセスは、シリコンの不純物の表面の汚染のソリューションを介してされている明確なシリコン表面の不純物を達(dá)成するために。別の解決策を選択し、シリコン表面の汚染不純物の種類をクリアするまで浸漬する。ながら、多くの場合にも、熱、超音波を伴うシンプルなソリューションを液浸法の効率性が多く、液浸の導(dǎo)入、ミキシングが不十分であることや他の物理的な措置。
?。?）機(jī)械洗浄方法
ときに、シリコン表面の粒子や有機(jī)殘基のステンドグラス頻繁に映畫をふくの洗浄方法を使用します。ブラシフランスの最も効果的な方法の液體殘?jiān)位瘜W(xué)的機(jī)械研磨を削除すると見なされます。日本、韓國、臺(tái)灣ではこの洗浄方法は非常に歐州や米國でも広く適用されて一般的です。機(jī)械的な洗浄方法を一般的に手に分かれており、洗浄方法と2つの方法で機(jī)械的な洗浄方法。
でワックス膜を削除するハンド洗浄方法は、シリコン表面のスクラブを浸し、トルエン、アセトン、エタノールや他の有機(jī)溶剤、綿球にするには簡単なものは、一般的なクリップクランプ、が同じ方向に沿って、放牧埃や他の固體粒子幹事接著剤殘基。しかし、この方法は簡単に傷を招く可能性、環(huán)境汚染は深刻だ。
ブラシをゴシゴシフィルムマシンに使用される純粋な機(jī)械的なブラシのマシンと高圧こすりこすりチップチップ機(jī)の洗浄に分割することができます。純粋に機(jī)械的フィルムマシンの機(jī)械的な回転ブラシのため、柔らかいブラシやウールローラー、ブラシ、ブラシ、シリコンの表面のブラシ。この法律は、大幅にシリコンスクラッチを減らす、洗濯の手を作成。がないため、機(jī)械的摩擦フィルムです高圧洗浄機(jī)、それが、シリコンの表面に傷がスロット符の內(nèi)側(cè)にきれいな汚れを満たすことができる、シリコンウエハ洗浄機(jī)洗浄傾向にある。
?。?）超音波洗浄法
超音波洗浄機(jī)が広く牛の半導(dǎo)體産業(yè)での洗浄方法としては、メソッドの利點(diǎn)があります：その他の機(jī)器や容器のための良好な洗浄効果、簡単な操作で、やはりこのメソッドは、比較的ノイズの多い、簡単にトランスデューサの破損を削除することができます使用されて欠點(diǎn)。
として働くの洗浄方法を次のとおり、強(qiáng)力な超音波効果（一般的に超音波の周波數(shù)で使用される20 kH2 40kHzのかそこら）は、液體の密度疎內(nèi)部部部近くに生成された疎の真空キャビティ気泡が生成されることですが消えるときにバブルが空洞瞬間、付近のため、シリコンの不純物の脫離の表面を地元の強(qiáng)い圧力をばかに化學(xué)結(jié)合分割する必要があります。蘭音波の周波數(shù)と気泡の空洞共鳴周波數(shù)は、機(jī)械的なアクションとしては、バブルの內(nèi)部の熱を多數(shù)の最大の集まりとして、これはより高い溫度が発生するから、反応を促進(jìn)する大規(guī)模な。超音波洗浄と超音波の條件、溫度、圧力、超音波周波數(shù)、消費(fèi)電力（例えば、としての効果等）に関連するが、ジェーンが多いの増加の超音波洗浄効果の向上のために有益です。